真空井式坩埚炉
一、产品简介
VCF系列井式坩埚炉是由石英坩埚(或氧化铝陶瓷坩埚)和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体保护下的高纯度化合物或扩散半导体晶片,也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。
特点: ①顶部开启式
②360度环绕式加热、升温均匀
③真空或非真空可选
二、产品规格参数:
产品型号Product type
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QSH-VCF-1200T
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QSH-VCF-1400T
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QSH-VCF-1700T
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温度Max temperature
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1200℃
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1400℃
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1700℃
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工作温度working temperature
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≤1100℃
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≤1300℃
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≤1600℃
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升温速率Heating rate
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0-20℃/min
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炉管直径Tube size
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直径 Dia 60/ 80/ 100/ 120/ 150mm
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控温精度Temperature accuracy
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± 1℃
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真空度Max vacuum
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-0.1MPa
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控温方式
Temperature control
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51段可编程智能自动控制
51segments programmable and PID auto control
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炉膛材料
Furnace chamber
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氧化铝陶瓷纤维板
Alumina Ceramic fiber board
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炉壳结构
Furnace structure
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双层风冷结构,炉壳表面温度低于50度
Double shell with fan cooling
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热电偶 Thermocouple
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K type
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S type
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B type
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加热元件
Heating elements
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电阻丝
Fe-Cr-Al-Mo wire
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硅碳棒
SiC heater
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硅钼棒
MoSi2 heater
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额定电压Rated voltage
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220V/380V 50/60Hz
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常用规格General & Dimension
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外径205 x 内径190 x 内高34 mm (O.D.205 x I.D.190 x H340)
外径150 x 内径130 x 内高200 mm (O.D.150 x I.D.130 x H200)
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说明:
1、本产品的规格参数仅供参考,以具体产品实际参数为准,请与销售及咨询客服人员。
2、产品图片及外观尺寸在不断研发更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除标准产品外、我公司可根据客户要求,进行设计生产,具体与销售人员联系。
三、温控程序升温曲线示意图(六段为例):
四、加热元件
工作温度
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产品图片
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加热元件
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特点
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≤1200℃
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电阻丝
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与普通铁铬铝电阻丝相比,温度更高、更耐用
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≤1400℃
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硅碳棒
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使用温度高、抗氧化、耐腐蚀、寿命长、变形小、安装维修方便。
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≤1600℃
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硅钼棒
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适合超高温加热使用、寿命长、发热量高、价格经济
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五、温控及配电系统
标准配置为厦门宇电温控708P。
触摸屏的控制面板可以根据客户要求安装,支持储存50条烧结工艺曲线,每条曲线可50段编程,并可以自由命名,,并在主面板上显示出来。升降温曲线实时记录并存储在触摸屏内,方便后期查询。
触摸屏的人机界面非常友好,编程非常直观,简单易学。
多重保护功能:超温报警并断电;断偶报警并断电;断棒报警;温度偏差报警;可控硅短路报警;程序结束报警并断电。
六、交货期及运输
通常规格合同签订后10日左右可发货、特殊规格需定制的交货期为30天,急用可另行协商。
包装及运输费用承担:供方调试好以后,木箱包装,运费供方承担。运输过程中出现问题,由供方承担。
七、常见故障及故障排除
故障现象
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故障原因
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排除方法
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打开控制电源开关Lock
无电源指示
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控制线路FU1 4A保险丝断
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检查有无短路排除后更换保险丝
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绿色Power指示灯灭,红色Open circuit指示灯亮。
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主电路FU2 32A保险丝断
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检查有无短路排除后更换保险丝
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电压,无电流。
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硅钼棒断裂
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更换加热元件
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仪表SV交替显示OraL
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热电偶断路
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更换热电偶
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仪表SV交替显示HIAL
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炉体超过上限温度1700℃仪表起保护
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温度降至安全温度后仪表自动恢复正常(检查超温原因)
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电源及硅钼棒都正常,但炉体不
能升温
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控制线路损坏
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通知专业维修人员。
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八、保修期和售后服务
服务内容:
◇设备保修期:验收合格后12个月内。在保修期内设备因质量缺陷出现故障,我方提供免费服务。
◇免费提供技术指导安装及设备调试服务。
◇终身优惠价提供易损部件及相关耗材,并协助用户进行设备维护及配件更换。
◇可为用户提供相关设备在不同场合下的使用方法及技术指导工作。
服务保障体系:
公司专设售后服务中心,开通24小时报修电话,接到报修电话,维修人员将在1~2工作日内赶往现场。一般故障48小时内解决,重大故障3日内解决。
◇服务中心专人专线负责解答用户在设备使用过程中的种种问题。
◇联系电话:
◇电子信箱:@163.com
服务监督:
为了监督公司维修服务人员的售后服务质量,公司专门设立投诉电话,将及时、准确的记录用户意见并迅速做出反应。
◇联系电话:
◇电子信箱: yinyl@126.com